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　　◆  X向測(cè)量參數(shù)

　　->  孔徑測(cè)量范圍：DN50～620mm；d  12.5～280mm

　　->  孔徑顯示當(dāng)量：0.001mm

　　->  孔徑測(cè)量不確定度：0.005mm

　　->  開孔圓度測(cè)量不確定度：0.005㎜

　　->  驅(qū)動(dòng)電機(jī)：DC微型電機(jī)

　　->  測(cè)力：雙向測(cè)力機(jī)構(gòu)，測(cè)力達(dá)1N后自動(dòng)發(fā)訊

　　->  測(cè)量時(shí)間：12.5～280mm孔徑范圍內(nèi)，可根據(jù)被測(cè)孔徑公稱直徑設(shè)置測(cè)量時(shí)間

　　◆  Z軸測(cè)量參數(shù)

　　->  測(cè)量范圍：0～25mm

　　->  顯示當(dāng)量：0.001mm

　　->  平面度、平行度測(cè)量不確定度：0.008mm

　　->  驅(qū)動(dòng)電機(jī)：  DC微型電機(jī)

　　->  動(dòng)作控制：具有提升、保持、下降、施壓穩(wěn)定后自動(dòng)采樣功能。

　　◆  工作臺(tái)參數(shù)

　　->  工作臺(tái)直徑：200mm/300  mm

　　->  工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)范圍：0～360゜

　　->  驅(qū)動(dòng)電機(jī)：DC微型步進(jìn)電機(jī)，最小步進(jìn)角1.5゜

　　->  孔板夾持方式：真空泵吸附機(jī)械式緊固。

　　◆  Y軸運(yùn)動(dòng)參數(shù)

　　->  測(cè)量范圍：0～5mm

　　->  驅(qū)動(dòng)電機(jī)：DC微型步進(jìn)電機(jī)