電容位移傳感器,電容位移傳感器的分類,電容位移傳感器參數(shù)指標(biāo)等
(1).變極距式電容傳感器
一個(gè)電極板固定不變，稱為固定極板，另一極板間距離d響應(yīng)變化，從而引起電容量的變化。因此，只要測(cè)出電容量的變化量⊿ C，便可測(cè)得極板間距變化量，即動(dòng)極板的位移量⊿ d。變極距電容傳感器的初始電容Co可由下式表達(dá)，即式中：ε--真空介電常數(shù)(8.85×10-12F/m) A--極板面積(m2) do--極板間距初始距離(m).傳感器的這種變化關(guān)系呈非線性，當(dāng)極板初始距離由do減少⊿ d時(shí)，則電容量相應(yīng)增加⊿ C，即電容相對(duì)變化量⊿ C/Co為.由于，在實(shí)際使用時(shí)常采用近似線性處理，即此時(shí)產(chǎn)生的相對(duì)非線性誤差γo為這種處理的結(jié)果，使得傳感器的相對(duì)非線性誤差增大.
為改善這種情況，可采用差動(dòng)變極距式電容傳感器，這種傳感器的結(jié)構(gòu)，如圖5所示。它有三個(gè)極板，其中兩個(gè)固定不動(dòng)，只有中間極板可產(chǎn)生移動(dòng)。當(dāng)中間活動(dòng)極板處于平衡位置時(shí)，即d1=d2=do，則C1=C2=Co，如果活動(dòng)極板向右移動(dòng)⊿ d,則d1=do-⊿ d,d2=do+⊿ d,采用上述相同的近似線性處理方法，可得傳感器電容總的相對(duì)變化，為傳感器的相對(duì)非線性誤差γo為.不難看出，變極距式電容傳感器改成差動(dòng)之后，不但非線性誤差大大減小，而且靈敏度也提高了一倍。
(2).變面積式電容傳感器
圖6是變面積式電容傳感器結(jié)構(gòu)示意圖，它由兩個(gè)電極構(gòu)成，其中一個(gè)為固定極板，另一個(gè)為可動(dòng)極板，兩極板均成半圓形。假定極板間的介質(zhì)不變(即電介質(zhì)常數(shù)不變)，當(dāng)兩極板完全重疊時(shí)，其電容量為Co=⊿ A/d
當(dāng)動(dòng)極板繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)α角時(shí)，兩極板的對(duì)應(yīng)面積要減小⊿ A，則傳感器的電容量就要減小⊿ C。如果我們把這種電容量的變化通過(guò)諧振電路或其它回路方法檢測(cè)出來(lái)，就實(shí)現(xiàn)了角位移轉(zhuǎn)換為電量的電測(cè)變換。
電容式位移傳感器的位移測(cè)量范圍在1um-10mm之間，變極距式電容傳感器的測(cè)量精度約為2%。變面積式電容傳感器的測(cè)量精度較高，其分辨率可達(dá)0.3um。
線性：0.08%；
分辨率：0.1nm
頻帶：35KHZ；
輸出：0～±10V
供電：±15；
探頭：不銹鋼材料，尺寸：Φ9.5mm，長(zhǎng)22mm；探頭自帶電纜長(zhǎng)1米，延長(zhǎng)電纜可選1、2或4米。
信號(hào)處理器鋁制外殼，尺寸：86X57X30mm；
