壓阻式傳感器,壓阻式傳感器的分類,壓阻式傳感器參數(shù)指標(biāo)等
這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。壓阻式傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片(N型)定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對于膜片中心對稱。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條 ，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。
�、谟捎谒捎眉呻娐饭に嚰庸�，因而結(jié)構(gòu)尺寸小，重量輕。
�、蹓毫Ψ直媛矢撸梢詸z測出像血壓那么小的微壓。
④頻率響應(yīng)好，它可以測量幾十千赫的脈動壓力。
�、萦捎趥鞲衅鞯牧γ粼皺z測元件制在同一塊硅片上，所以它工作可靠，綜合精度高，且使用壽命長。
�、抻捎诓捎冒雽�(dǎo)體材料硅制作，傳感器對溫度比較敏感，如不采用溫度補(bǔ)償，其溫度誤差較大。
