慣性傳感器是檢測和測量加速度、傾斜、沖擊、振動、旋轉和多自由度(DoF)運動的傳感器。
慣性傳感器包括加速度計(或加速度傳感計)和角速度傳感器(陀螺)以及它們的單、雙、三軸組合IMU(慣性測量單元),AHRS(包括磁傳感器的姿態(tài)參考系統(tǒng))。
MEMS加速度計是利用傳感質量的慣性力測量的傳感器,通常由標準質量塊(傳感元件)和檢測電路組成。
IMU主要由三個MEMS加速度傳感器及三個陀螺和解算電路組成。
低精度MEMS慣性傳感器作為消費電子類產品主要用在手機、GPS導航、游戲機、數(shù)碼相機、音樂播放器、無線鼠標、PD、硬盤保護器、智能玩具、計步器、防盜系統(tǒng)。由于具有加速度測量、傾斜測量、振動測量甚至轉動測量等基本測量功能,有待挖掘的消費電子應用會不斷出現(xiàn)
中級MEMS慣性傳感器作為工業(yè)級及汽車級產品,則主要用于汽車電子穩(wěn)定系統(tǒng)(ESP或ESC)GPS輔助導航系統(tǒng),汽車安全氣囊、車輛姿態(tài)測量、精密農業(yè)、工業(yè)自動化、大型醫(yī)療設備、機器人、儀器儀表、工程機械等
高精度的MEMS慣性傳感器作為軍用級和宇航級產品,主要要求高精度、全溫區(qū)、抗沖擊等指數(shù)。主要用于通訊衛(wèi)星無線、導彈導引頭、光學瞄準系統(tǒng)等穩(wěn)定性應用;飛機/導彈飛行控制、姿態(tài)控制、偏航阻尼等控制應用、以及中程導彈制導、慣性GPS導航等制導應用、遠程飛行器船舶儀器、戰(zhàn)場機器人等